Placa cu ventuză ceramică Oxalumina este un produs revoluționar în domeniul sistemelor de manipulare de precizie. Este realizat din ceramică α-alumină (α-Al₂O₃) cu o puritate de ≥99,9%, combinată cu o structură poroasă proiectată pentru a obține o distribuție optimă a vidului. În comparație cu ventuzele tradiționale din metal sau polimer, această soluție ceramică elimină complet riscul de contaminare cu particule, fiind în același timp capabilă să reziste la temperaturi extreme (funcționare continuă 1750°C) și medii corozive. Microstructura sa unică (dimensiune uniformă a porilor de 2-5 μm, densitate 3,89 g/cm³) asigură planeitatea submicroană (rugozitatea suprafeței Ra≤0,1 μm), făcându-l singura platformă profesională de ventuză care poate gestiona wafer-uri semiconductoare de 300 mm cu o precizie de aspirație de ± 0,1 μm.
1. Revoluție în performanța materialului
Stabilitate termică: fără deformare în ciclurile de șoc termic de 800°C și o durată de viață de 5 ori mai mare decât cea a ventuzelor din aliaj (mediu de proces la temperatură înaltă).
Rezistență chimică: pierderea în greutate de 1 an de imersie cu acid sulfuric de 30% este mai mică de 0,01 g, potrivită pentru funcționarea cu electroliți a bateriei și procesul de depunere a vaporilor chimici.
Performanță de izolație: intensitatea câmpului de defalcare ajunge la 40kV/mm, asigurând o funcționare sigură în camera de gravare cu plasmă.
2. Inovare în proiectare inginerească
Controlul porozității: 40% porozitate este obținută prin procesul de turnare prin injecție cu gel, iar structura peretelui porilor de 1-3μm previne adsorbția și deformarea pieselor ultra-subțiri (≤50μm).
Arhitectură inteligentă: Senzorul de temperatură încorporat acceptă managementul termic în timp real de la -196 ℃ până la un mediu cu temperatură ultra-înaltă.
